一般超纯水的核心部分都是反渗透系统,在确定了水源之后选择合适的反渗透膜。根据水源硬度等确定使用两级RO+离子交换系统还是选择 RO+阴阳床+离子交换系统。然后根据水源的特性确定反渗透之前预处理系统(超滤、M...
一般超纯水的核心部分都是反渗透系统,在确定了水源之后选择合适的反渗透膜。根据水源硬度等确定使用两级RO+离子交换系统还是选择 RO+阴阳床+离子交换系统。然后根据水源的特性确定反渗透之前预处理系统(超滤、MF、AC等)。
要点:反渗透是制取纯水的核心设备,如何运行好反渗透关键在于预处理,只有严格控制好RO系统进水指标,RO系统才能平稳运行。
大流量滤芯 | |||
中文名 | 大流量滤芯 | 长度 | 1016mm |
外文名 | Large flow filter | 外径 | 152mm-161mm |
工作压差 | ≤0.245MPA | 过滤比 | β≥1000 |
流量 | 70m/h | 结构 | 导流层、支撑层、过滤层 |
寿命 | 3-6个月 | 连接方式 | 超声波热熔 |
密封 | 丁晴橡胶 | 精度范围 | 1-50微米 |
在半导体产品的制造过程中,由于生产设备的精度和生产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求,尤其是作为半导体行业血液的超纯水系统。半导体行业超纯水的制造过程可以概括为四个部分,即预处理部分、反渗透部分、电去离子部分和抛光混床部分。在一些半导体工厂中,“负床和正床”也用来代替电去离子装置,主要是根据原水水质和生产水水质对弱电解质的要求。
产品优势
避免了传统离子再生消耗大量的酸碱,对环境更加友好;
克服了传统离子设备再生周期较长的问题;
超滤反洗排水、一级反渗透浓水排水和CEDI浓水排水及其回用措施有利于节能减排;
节约水资源和半导体制造单位的运营成本。
产品应用
预处理部分
多介质过滤器活性炭过滤器
粗滤器超滤装置
反渗透部分
逆渗透膜
电去离子部分
电子数据交换模块和电子数据交换模块
抛光混床
超纯水系统工艺流程
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(新工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)